Thứ năm 28/05/2026 07:21
Email: [email protected]
ASML mới đây đã khẳng định họ đang đi đúng tiến độ để ra mắt hệ thống quang khắc Twinscan NXE thế hệ mới. Hệ thống này được trang bị nguồn năng lượng EUV lên tới 1.000 watt và có thể xử lý tối đa 330 tấm đĩa bán dẫn (wafer) mỗi giờ.
Dự kiến ra mắt vào năm 2030 hoặc muộn hơn, cỗ máy này cung cấp công suất lớn hơn 50% so với công cụ EUV tiên tiến nhất hiện tại. Những thiết bị này sẽ giúp các nhà sản xuất chip tăng năng suất đáng kể và giảm thiểu tối đa chi phí trên mỗi đĩa bán dẫn. Tuy nhiên, để hiện thực hóa tham vọng này, ASML đã phải vượt qua hàng loạt thách thức và đạt được những bước tiến lớn về mặt công nghệ.
Đại diện đội ngũ công nghệ của ASML chia sẻ rằng việc đạt được mức công suất một kilowatt là một thành tựu vô cùng ấn tượng. Công ty thậm chí đã nhìn thấy lộ trình phát triển rõ ràng để tiến tới mức 1.500 watt và tin tưởng rằng mốc 2.000 watt là hoàn toàn khả thi trong tương lai.
Để đạt được nguồn EUV 1.000 watt trong thập kỷ tới, ASML đã phải phát triển một phương pháp tạo ánh sáng hoàn toàn mới bằng ba xung laser. Phương pháp này bao gồm một xung phụ đầu tiên để làm phẳng các giọt thiếc, một xung phụ thứ hai để làm giãn nở chúng, và cuối cùng là xung laser chính sẽ biến các giọt thiếc này thành thể plasma để phát ra ánh sáng EUV.
Bên cạnh đó, hệ thống mới sẽ được trang bị một bộ tạo giọt thiếc tiên tiến, giúp tăng gấp đôi số lượng hoạt động lên mức 100.000 giọt thiếc mỗi giây.
Dù vậy, việc tăng số lượng giọt thiếc đồng nghĩa với việc lượng mảnh vụn bắn ra sẽ nhiều hơn. Do đó, hệ thống cần một bộ thu gom mảnh vụn hoàn toàn mới để đảm bảo bề mặt đĩa bán dẫn luôn sạch sẽ tuyệt đối.
Hơn thế nữa, việc tạo ra bức xạ 1.000 watt đã khó, nhưng việc truyền tải năng lượng đó lên đĩa bán dẫn còn khó hơn rất nhiều. Vì vậy, ASML đã phát minh ra hệ thống thấu kính quang học truyền dẫn cao hoàn toàn mới, được thiết kế để có thể mở rộng khả năng xử lý lên tới hơn 450 đĩa bán dẫn mỗi giờ.
Công suất ánh sáng cao hơn cũng đòi hỏi các hệ thống khung giữ và di chuyển đĩa bán dẫn phải được nâng cấp toàn diện.
Nguồn sáng mạnh mẽ này yêu cầu các vật liệu hóa học cản quang và lớp màng bảo vệ thế hệ mới. Điều này có nghĩa là không chỉ riêng ASML, mà toàn bộ hệ sinh thái của ngành công nghiệp sản xuất chip đều phải chuẩn bị sẵn sàng cho sự xuất hiện của các công cụ mới này.
Hiện tại, ASML đã lên kế hoạch chi tiết để tích hợp nguồn sáng 1.000 watt vào lộ trình sản phẩm. Các thế hệ máy quang khắc tiếp theo dự kiến sẽ lần lượt ra mắt từ năm 2027 đến năm 2029.
Theo dõi chúng tôi trên:
Sau 7 ngày tranh tài sôi nổi, ngày 24/5, tại Trường Sĩ quan Đặc công, Binh chủng Đặc công tổ chức bế mạc Hội thao Thể dục thể thao Đặc công toàn quân năm 2026, trao giải cho các tập thể, cá nhân đạt thành tích xuất sắc.
(PLM) - WHO đánh giá nguy cơ Ebola xâm nhập Việt Nam ở mức thấp, Bộ Y tế đã tổ chức họp khẩn, siết giám sát cửa khẩu và chuẩn bị kịch bản ứng phó trước diễn biến phức tạp tại Congo, Uganda.
(PLM) - Sáng ngày 23-5, Đoàn đại biểu Bộ Tư pháp do đồng chí Hoàng Thanh Tùng, Uỷ viên Ban Chấp hành Trung ương Đảng, Bộ trưởng Bộ Tư pháp làm Trưởng đoàn và đoàn công tác gồm các thứ trưởng Nguyễn Thanh Tịnh, Đặng Hoàng Oanh, Nguyễn Thanh Tú, Mai Lương Khôi cùng các đơn vị trực thuộc bộ đã tới thăm, dâng hương hoa tại Khu di tích Quốc gia đặc biệt Tân Trào.
(PLM) - Đường đá cổ Pavi, là sợi dây kết nối lịch sử giữa tỉnh Lai Châu và Lào Cai, không chỉ là một lối đi, mà là một hành trình thức tỉnh tâm hồn. Được xây dựng từ năm 1920, dưới thời Pháp thuộc, đến nay, trải qua bao mưa nắng, con đường đá vẫn trơ gan cùng tuế nguyệt, rêu phong phủ kín, để rồi những năm gần đây, khi những tín đồ du lịch khám phá tình cờ "đánh thức", nó mới thực sự trở thành một huyền thoại du lịch. Theo dự kiến, giải leo núi “Bước chân trên mây” mùa 3 chinh phục cung đường “Con đường đá cổ Pa Vi” tại xã Sin Suối Hồ sẽ được Báo Pháp luật Việt Nam phối hợp với Sở Văn Hóa, Thể thao và Du lịch tỉnh Lai Châu tổ chức vào cuối tháng 10 năm 2026.
(PLM) - Những video chỉ kéo dài vài chục giây đang dần trở thành hình thức giải trí quen thuộc của giới trẻ trên môi trường số. Tuy nhiên, phía sau cảm giác thư giãn tức thời ấy là nguy cơ suy giảm khả năng tập trung, lệ thuộc vào kích thích nhanh và thay đổi thói quen tiếp nhận thông tin mà nhiều người không hề nhận ra.
(PLM) - UBND TP. Hà Nội đang lấy ý kiến dự thảo Nghị quyết Quy định chính sách, biện pháp, tiêu chí, điều kiện thực hiện dự án cải tạo, chỉnh trang, tái thiết đô thị trên địa bàn Hà Nội.
(PLM) - Bộ Xây dựng vừa có báo cáo về phát triển nhà ở xã hội, triển khai thành lập, đưa vào hoạt động Quỹ nhà ở quốc gia và phát triển nhà ở cho thuê.
(PLM) - Tại dự thảo Nghị quyết cơ chế, chính sách về đầu tư, phát triển và hỗ trợ nhà ở trên địa bàn thành phố, Hà Nội đề xuất các cơ chế ưu đãi như quỹ đất, nguồn vốn, chủ trương đầu tư.
(PLM) - Hội thao Đặc công toàn quân 2026 sôi nổi tại Trường Sĩ quan Đặc công, quy tụ hơn 700 cán bộ, chiến sĩ tranh tài, lan tỏa tinh thần “Khỏe để bảo vệ Tổ quốc”, hun đúc bản lĩnh, ý chí quyết thắng người lính đặc công.
(PLM) - Theo Dự thảo nghị định hướng dẫn thi hành một số điều của Luật Xây dựng mà Bộ Xây dựng đang trình Chính phủ, nhà ở riêng lẻ quy mô dưới 7 tầng có tổng diện tích sàn xây dựng dưới 500m2 sẽ được miễn phép xây dựng.
