Thứ năm 27/08/2026 01:37
Email: [email protected]
ASML mới đây đã khẳng định họ đang đi đúng tiến độ để ra mắt hệ thống quang khắc Twinscan NXE thế hệ mới. Hệ thống này được trang bị nguồn năng lượng EUV lên tới 1.000 watt và có thể xử lý tối đa 330 tấm đĩa bán dẫn (wafer) mỗi giờ.
Dự kiến ra mắt vào năm 2030 hoặc muộn hơn, cỗ máy này cung cấp công suất lớn hơn 50% so với công cụ EUV tiên tiến nhất hiện tại. Những thiết bị này sẽ giúp các nhà sản xuất chip tăng năng suất đáng kể và giảm thiểu tối đa chi phí trên mỗi đĩa bán dẫn. Tuy nhiên, để hiện thực hóa tham vọng này, ASML đã phải vượt qua hàng loạt thách thức và đạt được những bước tiến lớn về mặt công nghệ.
Đại diện đội ngũ công nghệ của ASML chia sẻ rằng việc đạt được mức công suất một kilowatt là một thành tựu vô cùng ấn tượng. Công ty thậm chí đã nhìn thấy lộ trình phát triển rõ ràng để tiến tới mức 1.500 watt và tin tưởng rằng mốc 2.000 watt là hoàn toàn khả thi trong tương lai.
Để đạt được nguồn EUV 1.000 watt trong thập kỷ tới, ASML đã phải phát triển một phương pháp tạo ánh sáng hoàn toàn mới bằng ba xung laser. Phương pháp này bao gồm một xung phụ đầu tiên để làm phẳng các giọt thiếc, một xung phụ thứ hai để làm giãn nở chúng, và cuối cùng là xung laser chính sẽ biến các giọt thiếc này thành thể plasma để phát ra ánh sáng EUV.
Bên cạnh đó, hệ thống mới sẽ được trang bị một bộ tạo giọt thiếc tiên tiến, giúp tăng gấp đôi số lượng hoạt động lên mức 100.000 giọt thiếc mỗi giây.
Dù vậy, việc tăng số lượng giọt thiếc đồng nghĩa với việc lượng mảnh vụn bắn ra sẽ nhiều hơn. Do đó, hệ thống cần một bộ thu gom mảnh vụn hoàn toàn mới để đảm bảo bề mặt đĩa bán dẫn luôn sạch sẽ tuyệt đối.
Hơn thế nữa, việc tạo ra bức xạ 1.000 watt đã khó, nhưng việc truyền tải năng lượng đó lên đĩa bán dẫn còn khó hơn rất nhiều. Vì vậy, ASML đã phát minh ra hệ thống thấu kính quang học truyền dẫn cao hoàn toàn mới, được thiết kế để có thể mở rộng khả năng xử lý lên tới hơn 450 đĩa bán dẫn mỗi giờ.
Công suất ánh sáng cao hơn cũng đòi hỏi các hệ thống khung giữ và di chuyển đĩa bán dẫn phải được nâng cấp toàn diện.
Nguồn sáng mạnh mẽ này yêu cầu các vật liệu hóa học cản quang và lớp màng bảo vệ thế hệ mới. Điều này có nghĩa là không chỉ riêng ASML, mà toàn bộ hệ sinh thái của ngành công nghiệp sản xuất chip đều phải chuẩn bị sẵn sàng cho sự xuất hiện của các công cụ mới này.
Hiện tại, ASML đã lên kế hoạch chi tiết để tích hợp nguồn sáng 1.000 watt vào lộ trình sản phẩm. Các thế hệ máy quang khắc tiếp theo dự kiến sẽ lần lượt ra mắt từ năm 2027 đến năm 2029.
Theo dõi chúng tôi trên:
(PLM) - Khởi tố, bắt tạm giam Hải “Sapa TV” cùng vợ và đối tác sau cáo buộc lừa dối khách hàng, vi phạm kế toán; vụ việc liên quan đường dây bán “thịt trâu sấy” gắn mác đặc sản tây bắc.
(PLM) - Sáng ngày 25/8/2026, tại Học viện Báo chí và Tuyên truyền tổ chức Hội thảo khoa học cấp Bộ với chủ đề “Báo chí, truyền thông số với bảo vệ nền tảng tư tưởng của Đảng, đấu tranh phản bác các quan điểm sai trái, thù địch trong kỷ nguyên phát triển mới”. Tại hội thảo, các chuyên gia hàng đầu đã tập trung thảo luận về chiến lược chuyển đổi tư duy từ phòng ngự bị động sang chủ động kiến tạo môi trường thông tin lành mạnh trên không gian mạng.
(PLM)- Công tác phòng cháy, chữa cháy và cứu nạn, cứu hộ trong tình hình mới đòi hỏi sự đổi mới mạnh mẽ từ tư duy “ứng phó thụ động” sang “chủ động phòng ngừa”, lấy người dân làm trung tâm, chủ thể trong mọi hoạt động. Nhằm đáp ứng yêu cầu này, thành phố Hà Nội đã triển khai nhiều trung tâm giáo dục cộng đồng về PCCC và CNCH tại địa bàn các phường xã.
PLM - Ngày 22/8, tâm bão số 4 ở khu vực vùng biển Quảng Ninh - Hải Phòng, cách đặc khu Bạch Long Vĩ khoảng 120km về phía Bắc. Bão mạnh cấp 8, giật cấp 10, di chuyển theo hướng Tây Nam trên Vịnh Bắc Bộ với tốc độ khoảng 5km/h, gây mưa lớn ở Đông Bắc Bộ và Thanh Hóa.
(PLM) - Không có những tấm huân chương gắn lên ngực áo giữa bầu trời, chiến công của họ là sự trở về an toàn của đồng đội, là sự bình yên tuyệt đối của bầu trời Tổ quốc. Họ - những đôi mắt dẫn đường lặng lẽ, xây dựng những đường bay bảo vệ hòa bình từ trên không cho mỗi chuyến bay Quân sự.
(PLM) - Gantan Beauty Industry Co., Ltd. – 60 năm kiến tạo mái kim loại chống thiên tai, nơi công nghệ, kỷ luật và tinh thần Nhật Bản kết tinh thành những công trình bền vững, an toàn trước bão giông.
(PLM) - Trưa 21/8, máy bay vận tải quân sự CASA-295 của Quân chủng Phòng không – Không quân đã hạ cánh an toàn tại sân bay quân sự Gia Lâm (Hà Nội), vận chuyển 7.104 mẫu sinh phẩm hài cốt liệt sĩ phục vụ công tác giám định ADN.
(PLM) - Phát hiện khối u não mạch máu xuất huyết nguy hiểm từ khi còn trong bụng mẹ, một trẻ sơ sinh ở TP.HCM vừa được phẫu thuật vi phẫu gần 5 giờ thành công, giành lại sự sống ngoạn mục.
PLM - Sáng ngày 20/8/2026, tại Nhà khách La Thành (Hà Nội), Hội Đông y Việt Nam tổ chức Lễ kỷ niệm 80 năm Ngày truyền thống (22/8/1946 – 22/8/2026). Sự kiện quy tụ đại diện Lãnh đạo Đảng, Nhà nước cùng đông đảo thế hệ lương y tiêu biểu trên cả nước, cùng nhìn lại chặng đường 8 thập kỷ cống hiến và khẳng định vai trò nòng cốt của y dược cổ truyền trong sự nghiệp chăm sóc sức khỏe nhân dân.
PLM - Ngày 20/8, tại Hà Nội, Đảng ủy Chính phủ tổ chức Lễ trao Giải Cuộc thi chính luận về bảo vệ nền tảng tư tưởng của Đảng trong Đảng bộ Chính phủ lần thứ 2, năm 2026. Báo Pháp luật Việt Nam vinh dự nhận 1 giải A, 2 giải Khuyến khích và 1 giải Chuyên đề.
